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      技術(shù)文章

      箱式高溫爐注意事項及常見故障

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      箱式高溫爐注意事項及常見故障

      1.除了做實驗外,不要停留在高溫爐管區(qū)。

      2.實驗工作完畢時,若無人繼續(xù)使用,請關(guān)特殊氣體,保留N2流動, 爐管保持在standby溫度,并查看是否有其它電源該關(guān)而沒有關(guān),如:cleanhood燈光、煮酸用的小電爐或其它,請隨手關(guān)掉。

      3.處理HF時,請戴手套,如不小心碰到HF時,請立刻沖水,用葡萄酸鈣加2%之水,揉擦傷處15'。

      4.石英玻璃制品請小心使用,以免破裂,引起嚴重割傷。

      5.避免吸入從爐子或處理槽所冒出之各種氣體。

      6.(KCN)不可與酸類混置,因兩者可產(chǎn)生劇毒之KCN氣體。

      7.旦發(fā)現(xiàn)有妨礙安全之事物時,請立即通知有關(guān)人員(技術(shù)員等)。

      8.請節(jié)約純水用量。

      9.破晶片、濾紙、棉花棒.......等,請勿掉入清洗槽的底部排水孔,以免因排水不良造成地板漬水。

      10長短推桿之前端,在還沒使用到時,請朝上以免污染。

      11.晶片進出爐口時,承接boat的holder,請勿碰觸爐管口,以免污染爐管。

      高溫箱式電阻爐的常見故障

      1.高溫氣氛爐不升溫 

      (1)電源電壓正常,控制器工作正常,電流表無顯示,常見故障為電爐絲斷路,可用萬用表檢查并用相同規(guī)格的電爐絲更換。 

      (2)電源電壓正常,控制器不能工作,可檢修控制器內(nèi)部的開關(guān)、熔斷器及爐門的行程開關(guān)。如果電爐的爐門沒有關(guān)好控制器也不能工作,控制器故障的檢修方法可參閱控制器說明書。 

      (3)供電電源的故障:不接電爐時工作正常,接電爐時不能正常工作,控制器內(nèi)發(fā)出連續(xù)的噠噠聲音其原因為供電線路的電壓降太大或插座及控制開關(guān)接觸不好,可調(diào)整或更換。  

      2.高溫箱式電阻爐升溫慢 

      (1)電源電壓正常,控制器工作正常,常見故障為部分電爐絲斷路,可用萬用表檢查并用相同規(guī)格的電爐絲更換。 

      (2)電源電壓正常,但是電爐的工作電壓低,其原因為供電線路的電壓降太大或插座及控制開關(guān)接觸不好,可調(diào)整更換。 

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